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Development of slurry for Ru Chemical Mechanical Planarization
한국재료학회 학술발표대회
2006 .01
Ruthenium CMP에서 Cerium Ammonium Nitrate와알루미나 연마 입자가 연마 거동에 미치는 영향
전기전자재료학회논문지
2005 .01
Post Ru CMP Cleaning for Alumina Particle Removal
한국재료학회 학술발표대회
2011 .01
$(Ru_{0.8}Nb_{0.2})Sr_2(Gd_{1.5-x}Nd_xCe_{0.5})Cu_2O_z$ 계의 합성 및 초전도 특성
Progress in superconductivity
2009 .01
플라즈마 원자층 증착법을 이용한 하이브리드 기능성 Ru-TiN 히터 박막의 합성 및 특성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
Ru 박막의 응력 거동 분석 및 산소 유량 조절을 통한 결정립 성장 억제
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
새로운 Ru precursor를 이용하여 증착한 Ru 박막의 두께 및 산소의 박막 특성에 대한 영향분석
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
$Ru(EtCp)_2$ precursor를 이용하여 증착한 Ru 박막 특성 및 Ru precursor의 분해 특성 분석
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
Effect of Anionic Polyelectrolyte on Alumina Dispersions for Ru Chemical Mechanical Polishing
한국재료학회 학술발표대회
2011 .01
(Ba,Sr)$TiO_3$ 용 (Ba,Sr)$RuO_3$ 전극의 산소 확산 평가 및 (Ba,Sr)RuO$_3$/Ru Bilayer의 도입
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
Ru 촉매의 비활성화 억제를 위한 연구
공업화학
1994 .01
CMP 공정에서 슬러리 유량의 변화가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
CF4/O2 Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응
전기전자재료학회논문지
2002 .01
PEMFC에서 전극의 CO 내성 및 막 내구성에 미치는 Ru/C 촉매의 영향
화학공학
2008 .01
EFFECTS OF THE SUBSTRATE TEMPERATURE AND $O_2$/Ar RATIO ON THE PROPERTIES OF Ru$O_2$ FILMS
Fabrication and Characterization of Advanced Materials
1995 .01
Capacitor 전극용 Ru박막의 식각 특성
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
화학기계적 연마(CMP) 공정과 관련연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
DU_RU 분리형 기지국 데이터절감 기술
대한전자공학회 학술대회
2013 .07
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