새로운 Ru precursor를 이용하여 증착한 Ru 박막의 두께 및 산소의 박막 특성에 대한 영향분석

최종완 ,  최영민 ,  노광수

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

플라즈마 원자층 증착법을 이용한 하이브리드 기능성 Ru-TiN 히터 박막의 합성 및 특성 평가

권세훈 ,  정성준 ,  정영근 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

Ru(EtCp)2 전구체를 이용한 PEALD Ru 공정 최적화에 관한 연구

권세훈 ,  정영근

한국분말야금학회지

2013 .01

$(Ru_{0.8}Nb_{0.2})Sr_2(Gd_{1.5-x}Nd_xCe_{0.5})Cu_2O_z$ 계의 합성 및 초전도 특성

이호근 ,  배수민

Progress in superconductivity

2009 .01

Ru 박막의 응력 거동 분석 및 산소 유량 조절을 통한 결정립 성장 억제

임하진 ,  강상열 ,  황철성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Ru 촉매의 비활성화 억제를 위한 연구

김영길 ,  이재의 ,  조성준 외 1명

공업화학

1994 .01

(Ba,Sr)$TiO_3$ 용 (Ba,Sr)$RuO_3$ 전극의 산소 확산 평가 및 (Ba,Sr)RuO$_3$/Ru Bilayer의 도입

홍덕화 ,  강중서 ,  김현철 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

EFFECTS OF THE SUBSTRATE TEMPERATURE AND $O_2$/Ar RATIO ON THE PROPERTIES OF Ru$O_2$ FILMS

Choi ,  Choi ,  J.Y. 외 6명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Post Ru CMP Cleaning for Alumina Particle Removal

P ,  asad ,  Y. Nagend 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

CF4/O2 Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응

임규태 ,  김동표 ,  김경태 외 3명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Ru CMP(Chemical Mechanical Planarization)에서 pH 변화가 Ru의 연마거동에 미치는 영향

조병권 ,  김인권 ,  권태영 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

DU_RU 분리형 기지국 데이터절감 기술

김승환 ,  이상수

대한전자공학회 학술대회

2013 .07

4원촉매 개발을 위한 Ru/CeO₂ 촉매 연구

박정선 ,  이성호 ,  이재환 외 2명

한국에너지기후변화학회 학술대회

2017 .05

Capacitor 전극용 Ru박막의 식각 특성

이순우 ,  김상훈 ,  함동은 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

PEMFC에서 전극의 CO 내성 및 막 내구성에 미치는 Ru/C 촉매의 영향

심우종 ,  김동환 ,  최서희 외 4명

화학공학

2008 .01

DU-RU 형태의 Mobile WiMAX 기지국에서 DU-RU 간 거리 및 Cell 반경의 한계에 관한 연구

김성만

한국통신학회 학술대회논문집

2011 .02

Ru$O_{2}$ 박막과 Ru$O_{2}$/Ru 이중막의 산소 분위기 열처리시 표면 반응 연구

오상호 ,  박찬로 ,  박찬경

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

루테늄(Ru) 기반 발광전해질 제작과 발광특성 고찰

권혁문 ,  성열문 ,  박차수

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .07