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이용수
1. 서론
2. 실험
3. 결과
참고문헌
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기판 부근의 자기장이 RF 스퍼터링법으로 증착된 ITO 박막의 특성에 미치는 영향
전기전자재료학회논문지
2012 .01
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성
반도체디스플레이기술학회지
2010 .01
Off-axis RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 저온에서 결정화된 ITO 박막의 특성
전기전자재료학회논문지
2011 .01
고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ITO 박막의 표면형태 및 전기적 특성
센서학회지
2006 .01
RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 유기 EL용 ITO 박막의 증착
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
Electron Beam Induced RF Sputtering Process for High Performance ITO FILMs
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 ITO 기판에 불순물 증착에 관한 연구
전기학회논문지 P
2015 .12
반응성 DC 스퍼터링 법에 의한 투명 Plastic 상의 ITO 박막제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
유연성 기판 위에 증착된 ITO 박막의 공정 온도에 따른 전기적·광학적 특성 평가
전기전자재료학회논문지
2013 .01
RF Bias Effect of ITO Thin Films Reactively Sputtered on PET Substrates at Room Temperature
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2004 .01
ITO 박막의 공정변수에 따른 특성 연구
한국표면공학회지
2004 .06
DC마그네트론 스퍼터링법으로 PET 기판위에 저온 증착한 ITO박막의 비저항과 굽힘 저항성에 대한 RF인가의 영향
한국표면공학회지
2008 .10
RF 마그네트론 스퍼터의 자기장 분포 변화에 의한 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .05
스퍼터링에 의한 ITO 박막의 저온 증착 및 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
분위기 가스에 따른 ITO 박막의 전기적 및 구조적 특성
반도체및디스플레이장비학회지
2008 .01
Electrical and Optical Properties of ITO Films Sputtered by RF-bias Voltage and In-Sn Alloy Target
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2004 .01
Crystallization Behavior of ITO Thin Films with and without External Heating during RF-Magnetron Sputtering
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2003 .01
RF Sputtering에 의해 증착된 ITO 박막의 우선배향성 및 표면형상 조절 : 산소분압효과
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
반응성 DC 스퍼터법으로 제조한 ITO 박막의 물성에 미치는 RF-bias의 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1999 .10
ITO/Ni/ITO 박막의 공정변수에 따른 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
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