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이용수
1. 서론
2. 실험
3. 결과
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마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Indium-Tin Oxide 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2000 .11
스퍼터링에 의한 ITO 박막의 저온 증착 및 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
반응성 마그네트론 프로세스에 의한 ITO박막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1992 .07
마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 ITO:Yb 및 ITO:Sm 박막의 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ITO 박막의 표면형태 및 전기적 특성
센서학회지
2006 .01
DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ITO/PET 초박막의 제작 및 물성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성
반도체디스플레이기술학회지
2010 .01
DC 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 비정질 ITO:X 박막의 불순물 X 함량과 후열처리 온도에 따른 물성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .05
이온빔 스퍼터링 증탁 ITO 박막의 미세 구조와 전기적 특성
한국태양에너지학회 논문집
2000 .06
내장형 및 외장형 마그네트론을 사용하여 증착한 ITO박막의 물성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
반응성 dc 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 ITO박막에 미치는 산소분압의 영향
한국표면공학회지
1998 .06
Properties of Ag/ITO film deposited using the DC magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
Off-axis RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 저온에서 결정화된 ITO 박막의 특성
전기전자재료학회논문지
2011 .01
분위기 가스에 따른 ITO 박막의 전기적 및 구조적 특성
반도체및디스플레이장비학회지
2008 .01
산소 가스 유량비 변화에 따른 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구
한국표면공학회지
2007 .06
RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 유기 EL용 ITO 박막의 증착
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
가스압 변화에 따른 ITO 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
D.C. 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 ITO 및 ITO/Ag/ITO 박막의 미세조직과 투명 전극 특성
한국재료학회지
2006 .01
DC 마그네트론 스파터링법에 의한 ITO 박막재의 전기적 기계적 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .03
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