Dimethylethylamine Alane를 이용한 CVD 알루미늄박막 증착의 수소플라즈마 전처리효과

이화성; 장태웅; 안병태

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이화성 (한국과학기술원 재료공학과) 장태웅 (한국과학기술원 재료공학과) 안병태 (한국과학기술원 재료공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1998년도 추계학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 1998.1

수록면: 157 - 157 (1page)

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