고유전체 박막을 위한 MOCVD를 이용한 Pt Thin Film Electrode

권주홍 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

강 유전체 박막을 위한 하부전극 MOCVD-pt 박막의 특성

권주홍 ,  윤순길

한국재료학회지

1996 .01

MOCVD법으로 증착된 고유전율 박막 전극용 Pt 박막의 특성분석 ( Characterization of Pt Thin Films for Electrodes of High Dielectric Thin Films Deposited by Metal Organic Chemical Vapor Deposition )

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

MOCVD 법에 의한 Al 박막의 증착 속도 및 증착 두께 분포

정원영 ,  천성순 ,  유형준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Plasma-Enhanced MOCVD법에 의해 MOCVD-Pt 위에 제조된 강 유전체 Sr${Bi}_{2}{Ta}_{2}{O}_{9}$ 박막의 특성

성낙진 ,  최은석 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

MOCVD법에 의한 AI 박막의 증착속도 분포에 대한 수치모사

정원영 ,  김도현

한국재료학회지

1996 .01

MOCVD 법에 의해 증착된 TiO2 박막의 결정구조 및 광학적 특성 ( Structural and Optical Properties of TiO2 Films Deposited by MOCVD )

장동훈 ,  강성준 ,  윤영섭

전자공학회논문지-D

1997 .06

MOCVD로 성장한 ZnO 박막의 $O_2$ 유량 변화에 따른 광특성과 미세구조 분석

한원석 ,  공보현 ,  김동찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

MOCVD법으로 증착된 구리 박막의 특성평가

표성규 ,  김헌도 ,  김삼동 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Mocvd 에 의한 신기능소자 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

MOCVD에 의한 신기능소자 , 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

백금 박막의 방향성 및 미세구조에 미치는 산소의 영향

최영철 ,  이병수

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

MOCVD 방법으로 증착시킨 BST 박막의 Uniformity-미세구조 관계

권현자 ,  김현하 ,  정영우 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

STRUCTURE AND MAGNETIC PROPERTIES OF ($Co_{1-x}Fe_{x}$)Pt THIN FILMS

Pa ,  k ,  C.H. 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구

최정환 ,  박상기 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

MOCVD법에 의한 PZT 박막의 증착 및 전기적 특성에 관한 연구

신주철 ,  이종명 ,  홍석경 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

MOCVD 방법으로 증착된 $SnO_2$ 박막의 CO 가스 감지 특성

박경희 ,  류현욱 ,  이우선 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

MOCVD 공정에서 화학반응이 장치 내부 열유동에 미치는 영향

박신 ,  김경진 ,  곽호상

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2016 .11

Effect of Source Composition Ratio on YBCO Deposition by a MOCVD Process

Sun ,  J.W. ,  Jun 외 3명

한국초전도학회 High Temperature Superconductivity

2003 .01