메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제28권 제2호
발행연도
2015.1
수록면
104 - 108 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
N-methylpyrrolidine alane을 전구체로 사용하여 유기금속 화학기상증착법으로 TiN/Si 기판 위에 Al 박막을 증착하였다. 증착된 박막의 특성을 SEM, XRD, α-step, AFM과 4-point probe를 이용하여 조사하였다. 레이저와 포토 다이오드를 사용하여 반응 중 기판표면 반사도 변화를 측정하여 Al 박막 증착의 초기 결정성장 과정을 분석하였다. 표면 반사도는 초기 30∼40초 사이에 크게 변화하였으며, 2번의 증가 영역과 2번의 감소 영역이 존재하였다. 표면 반사도가 크게 변하는 8지점까지의 박막을 순차적으로 합성하였고, 각 박막의 표면과 단면 형상을 SEM으로 분석하였다. MPA를 전구체로 하여 MOCVD법으로 증착시킨 Al 필름은 Volmer-Weber 반응기구와 Stranski-Krastanov 반응기구가 복합적으로 섞여 성장하였다.

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (8)

참고문헌 신청

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0