RF magnetron plasma CVD에 의한 DLC 박막의 합성

김성영 ,  이재성

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1994 .10

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

De saddle-field plasma CVD로 제작한 다이아몬드상 카본 박막

유영조 ,  김효근 ,  정용근 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

XPS STUDY ON SN-DOPED DLC FILMS PREPARED BY RF PLASMA-ENHANCED CVD

Y. Inoue ,  T. Komoguchi ,  H. Nakata 외 1명

한국표면공학회지

1996 .10

투명 DLC 코팅기술에 관한 연구

신영호 ,  김태규 ,  김남경

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2011 .06

플라즈마 분광 분석을 통한 DLC 박막의 구조 특성 연구

강신구 ,  김준우 ,  진억용

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Alignment property change in DLC alignment layer containing various hydrogen concentration

Kim ,  Jong-Bok ,  Kim 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

PE-CVD 공정을 통한 DLC 코팅면의 이형성 특성 연구

남성호 ,  강은구 ,  변경원 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2009 .10

무수소 DLC막의 후막화를 위한 잔류응력 제어 연구

김종국 ,  강용진 ,  김기택 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .11

Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구 ( Fabrication and Characterization of a-Si : H Films by a Remote Plasma Enhanced CVD )

양영식 ,  윤여진 ,  장진

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

Plasma Enhanced CVD 법으로 증착한 BON박막과 Si-DLC 박막의 산화

김찬우 ,  홍리석 ,  이동복

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

LOW TEMPERATURE DEPOSITION OFSIO_x FILMS BY PLASMA-ENHANCED CVD USING 100 ㎑ GENERATOR

Nobuyuki Kakinoki ,  Takenobu Suzuki ,  Osamu Takai

한국표면공학회지

1996 .12

Effects of bonding layer in the adhesion of DLC thin film on Al₂O₃ for an application of high temperature strength

옥철호 ,  정인수 ,  이규용

대한기계학회 춘추학술대회

2005 .05

중간층이 DLC 코팅에 미치는 영향

송진수 ,  남태운

Corrosion Science and Technology

2011 .01

수중 환경에서 수소로 희석된 반응 가스를 이용하여 증착된 DLC 박막의 트라이볼로지 거동

이진우 ,  문명운 ,  이광렬

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )

황정태 ,  정창영 ,  정관수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

수소로 희석된 반응 가스로 합성된 DLC 박막의 수중 환경에서의 마찰마모 특성

이진우

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .05

Characterization and Application of DLC Films Produced by New Combined PVD-CVD Technique

Chekan ,  N.M. ,  Kim 외 5명

열처리공학회지

2010 .01

DLC 박막의 전기전도성, 투과율 및 가스베리어 특성에 관한 연구

박새봄 ,  김치환 ,  김태규

열처리공학회지

2018 .01

Segment-structured DLC Deposition on Three-Dimensional Substrate

Mai Takashima ,  Kei Kanzawa ,  Shin Matsuo 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11