Shallow Trench Isolation for 0.15mm Device

Jung H. Lee ,  Se J. Rhee ,  Jun G. Choi 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

ANALYSIS OF ETCHED SILICON SURFACE FOR TRENCH ISOLATION TECHNIQUES

Kim ,  S.G. ,  Kim 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

고 전력 DMOSFET 응용을 위한 트렌치 게이트 형성에 관한 연구

박훈수 ,  구진근 ,  이영기

전기전자재료학회논문지

2004 .01

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of diode using trench isolation )

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

4H-SiC Trench MOSFET 응용을 위한 Ar Reshape 공정 최적화

성민제 ,  강민재 ,  김홍기 외 5명

전기전자학회논문지

2018 .12

Simulations of Stress and Narrow Width Effects in Shallow Trench Isolation and Its Applications

Yong-Jae Lee ,  Jong-Hyung Lee

INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING

2011 .06

Shallow trench 식각 공정시 발생하는 손상의 후속 열처리 및 산화공정에 따른 거동에 관한 연구

이영준 ,  황순원 ,  이주욱 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Shallow Trench 식각공정시 발생하는 결함의 후속열처리 및 산화공정에 따른 거동에 관한 연구

이영준 ,  황순원 ,  김현수 외 3명

한국표면공학회지

1998 .10

65 ㎚이하 shallow trench isolation (STI) gap fill 특성향상을 위한 profile 개선 연구

김희대 ,  박창기 ,  이내응

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

Deep sub-micron CMOS의 소자고립을 위한 Shallow Trench 식각공정에 관한 연구

이주훈 ,  김현수 ,  염근영

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Determination of End Point for Direct Chemical Mechanical Polishing of Shallow Trench Isolation Structure

Yong-Jin Seo ,  Kyoung-Jin Lee ,  Sang-Yong Kim 외 1명

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2003 .02

Effects of Post Annealing and Oxidation Processes on the Removal of Damage Generated During the Shallow Trench Etch Process

Y. J. Lee ,  S. W. Hwang ,  J. W. Lee 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Analysis of Lattice Temperature in Super Junction Trench Gate Power MOSFET as Changing Degree of Trench Etching

Byeong-il Lee ,  Jong Min Geum ,  Eun Sik Jung 외 3명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2014 .06

여러가지 구조를 갖는 Trench Capacitor의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics of Trench Capacitor with Various Structures )

이진희 ,  남기수 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

8인치 Trench MOSFET etch제조공정의 body profile 특성 향상 연구

양창헌 ,  김권제 ,  권영수 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .11

STI(Shallow Trench Isolation) 공정에서 Torn Oxide Defect 해결에 관한 연구

김상용 ,  서용진 ,  김태형 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

A Novel Trench Etching Process and Analysis of Defect Formation and Residue Deposition

이주욱 ,  김상기 ,  김종대 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

DTI(Deep Trench Isolation) 공정에서 항복전압 천이 현상 연구

김희대 ,  고철주 ,  박주원 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

내압특성개선을 위한 트렌치 필드링 설계 및 전기적특성에 관한 연구

강이구 ,  김범준 ,  이용훈

전기전자재료학회논문지

2010 .01