Shallow Trench 식각공정시 발생하는 결함의 후속열처리 및 산화공정에 따른 거동에 관한 연구

이영준 ,  황순원 ,  김현수 외 3명

한국표면공학회지

1998 .10

Effects of Post Annealing and Oxidation Processes on the Removal of Damage Generated During the Shallow Trench Etch Process

Y. J. Lee ,  S. W. Hwang ,  J. W. Lee 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

TRENCH ETCHING FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION USING $Cl_2/Ar$ PLASMA

Kim ,  C.B. ,  Jun 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Deep sub-micron CMOS의 소자고립을 위한 Shallow Trench 식각공정에 관한 연구

이주훈 ,  김현수 ,  염근영

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Shallow Trench Isolation for 0.15mm Device

Jung H. Lee ,  Se J. Rhee ,  Jun G. Choi 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

고 전력 DMOSFET 응용을 위한 트렌치 게이트 형성에 관한 연구

박훈수 ,  구진근 ,  이영기

전기전자재료학회논문지

2004 .01

Simulations of Stress and Narrow Width Effects in Shallow Trench Isolation and Its Applications

Yong-Jae Lee ,  Jong-Hyung Lee

INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING

2011 .06

4H-SiC Trench MOSFET 응용을 위한 Ar Reshape 공정 최적화

성민제 ,  강민재 ,  김홍기 외 5명

전기전자학회논문지

2018 .12

STI(Shallow Trench Isolation) 공정에서 Torn Oxide Defect 해결에 관한 연구

김상용 ,  서용진 ,  김태형 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

Shallow Trench Isolation 공정에서 수분에 의한 nMOSFET의 Hump 특성

이영철

한국정보통신학회논문지

2006 .12

8인치 Trench MOSFET etch제조공정의 body profile 특성 향상 연구

양창헌 ,  김권제 ,  권영수 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .11

65 ㎚이하 shallow trench isolation (STI) gap fill 특성향상을 위한 profile 개선 연구

김희대 ,  박창기 ,  이내응

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

Determination of End Point for Direct Chemical Mechanical Polishing of Shallow Trench Isolation Structure

Yong-Jin Seo ,  Kyoung-Jin Lee ,  Sang-Yong Kim 외 1명

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2003 .02

TRENCH 공정을 이용한 MOS DEVICE의 전기적 특성

구본재 ,  이종호 ,  문종 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

500 V급 Unified Trench Gate Power MOSFET 공정 및 제작에 관한 연구

강이구

전기전자재료학회논문지

2013 .01

A Novel Trench Etching Process and Analysis of Defect Formation and Residue Deposition

이주욱 ,  김상기 ,  김종대 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

ANALYSIS OF ETCHED SILICON SURFACE FOR TRENCH ISOLATION TECHNIQUES

Kim ,  S.G. ,  Kim 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Super Junction MOSFET의 트렌치 식각 각도에 따른 열 특성 분석에 관한 연구

강이구

전기전자학회논문지

2014 .12

Flowable oxide CVD Process for Shallow Trench Isolation in Silicon Semiconductor

Sung-Woong Chung ,  Sang-Tae Ahn ,  Hyun-Chul Sohn 외 1명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2004 .03

Analysis of Lattice Temperature in Super Junction Trench Gate Power MOSFET as Changing Degree of Trench Etching

Byeong-il Lee ,  Jong Min Geum ,  Eun Sik Jung 외 3명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2014 .06