TRENCH ETCHING FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION USING $Cl_2/Ar$ PLASMA

Kim ,  C.B. ,  Jun 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

고 전력 DMOSFET 응용을 위한 트렌치 게이트 형성에 관한 연구

박훈수 ,  구진근 ,  이영기

전기전자재료학회논문지

2004 .01

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of diode using trench isolation )

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

A Novel Trench Etching Process and Analysis of Defect Formation and Residue Deposition

이주욱 ,  김상기 ,  김종대 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

8인치 Trench MOSFET etch제조공정의 body profile 특성 향상 연구

양창헌 ,  김권제 ,  권영수 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .11

Shallow Trench Isolation for 0.15mm Device

Jung H. Lee ,  Se J. Rhee ,  Jun G. Choi 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Flowable oxide CVD Process for Shallow Trench Isolation in Silicon Semiconductor

Sung-Woong Chung ,  Sang-Tae Ahn ,  Hyun-Chul Sohn 외 1명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2004 .03

DTI(Deep Trench Isolation) 공정에서 항복전압 천이 현상 연구

김희대 ,  고철주 ,  박주원 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon

C. H. Han ,  E. S. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Bipolar Transistor 집적회로에 Trench Isolation 공정의응용

염근영

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon의 Deep Groove Etching

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

Simulations of Stress and Narrow Width Effects in Shallow Trench Isolation and Its Applications

Yong-Jae Lee ,  Jong-Hyung Lee

INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING

2011 .06

Analysis of Lattice Temperature in Super Junction Trench Gate Power MOSFET as Changing Degree of Trench Etching

Byeong-il Lee ,  Jong Min Geum ,  Eun Sik Jung 외 3명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2014 .06

Nature of The Silicon and Silicon Dioxide Surfaces During Plasma Etching with Fluorocarbon Containing Discharges

E ,  ay S. Aydil ,  Denise C. Ma 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Thermal Analysis of a Silicon Wafer during Plasma Etching

Y. A. Lin ,  Chin Pan

Heat Transfer Conference

1998 .08

트렌티 식각시 식각 방지막의 형성과 이들이 결함 생성에 미치는 영향

이주욱 ,  김상기 ,  김종대 외 3명

한국재료학회지

1998 .01

4H-SiC Trench MOSFET 응용을 위한 Ar Reshape 공정 최적화

성민제 ,  강민재 ,  김홍기 외 5명

전기전자학회논문지

2018 .12