8인치 Trench MOSFET etch제조공정의 body profile 특성 향상 연구

양창헌; 김권제; 권영수; 신훈규

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 양창헌 (동아대학교) 김권제 (동아대학교) 권영수 (동아대학교) 신훈규 (포항공과대학교)

저널정보: 대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 대한전기학회 전기물성.응용부문회 Techno-Fair 및 추계학술대회 논문집

발행연도: 2010.11

수록면: 75 - 75 (1page)

이용수

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양창헌

소속기관 동아대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 8 이용수 238

김권제

소속기관 동아대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 4 이용수 140

권영수

소속기관 한국전력공사

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 TOP 10%

논문수 205 이용수 6,795

신훈규

소속기관 Pohang University of Science and Technology

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 자연과학 > 물리학

논문수 64 이용수 3,215

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-560-003961191

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AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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