Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

TRENCH ETCHING FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION USING $Cl_2/Ar$ PLASMA

Kim ,  C.B. ,  Jun 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Shallow Trench Isolation for 0.15mm Device

Jung H. Lee ,  Se J. Rhee ,  Jun G. Choi 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

여러가지 구조를 갖는 Trench Capacitor의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics of Trench Capacitor with Various Structures )

이진희 ,  남기수 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

ANALYSIS OF ETCHED SILICON SURFACE FOR TRENCH ISOLATION TECHNIQUES

Kim ,  S.G. ,  Kim 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

DTI(Deep Trench Isolation) 공정에서 항복전압 천이 현상 연구

김희대 ,  고철주 ,  박주원 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

고 전력 DMOSFET 응용을 위한 트렌치 게이트 형성에 관한 연구

박훈수 ,  구진근 ,  이영기

전기전자재료학회논문지

2004 .01

Bipolar Transistor 집적회로에 Trench Isolation 공정의응용

염근영

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Trench 격리기술을 이용한 고속 PSA 바이폴라 소자의 전기적 특성

구용서 ,  한태현 ,  김귀동 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Simulations of Stress and Narrow Width Effects in Shallow Trench Isolation and Its Applications

Yong-Jae Lee ,  Jong-Hyung Lee

INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING

2011 .06

Guard Ring을 가진 Trench 쇼트키 다이오드

문진우 ,  정상구 ,  최연익

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

TRENCH 공정을 이용한 MOS DEVICE의 전기적 특성

구본재 ,  이종호 ,  문종 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

4H-SiC Trench MOSFET 응용을 위한 Ar Reshape 공정 최적화

성민제 ,  강민재 ,  김홍기 외 5명

전기전자학회논문지

2018 .12

65 ㎚이하 shallow trench isolation (STI) gap fill 특성향상을 위한 profile 개선 연구

김희대 ,  박창기 ,  이내응

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

내압특성개선을 위한 트렌치 필드링 설계 및 전기적특성에 관한 연구

강이구 ,  김범준 ,  이용훈

전기전자재료학회논문지

2010 .01

Analysis of Lattice Temperature in Super Junction Trench Gate Power MOSFET as Changing Degree of Trench Etching

Byeong-il Lee ,  Jong Min Geum ,  Eun Sik Jung 외 3명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2014 .06

Determination of End Point for Direct Chemical Mechanical Polishing of Shallow Trench Isolation Structure

Yong-Jin Seo ,  Kyoung-Jin Lee ,  Sang-Yong Kim 외 1명

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2003 .02

500 V급 Unified Trench Gate Power MOSFET 공정 및 제작에 관한 연구

강이구

전기전자재료학회논문지

2013 .01

STI(Shallow Trench Isolation) 공정에서 Torn Oxide Defect 해결에 관한 연구

김상용 ,  서용진 ,  김태형 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

Characteristics of the Micro-Trench Stack Capacitor

김성태 ,  고재홍 ,  김경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01