트렌티 식각시 식각 방지막의 형성과 이들이 결함 생성에 미치는 영향

이주욱 ,  김상기 ,  김종대 외 3명

한국재료학회지

1998 .01

고 전력 DMOSFET 응용을 위한 트렌치 게이트 형성에 관한 연구

박훈수 ,  구진근 ,  이영기

전기전자재료학회논문지

2004 .01

ANALYSIS OF ETCHED SILICON SURFACE FOR TRENCH ISOLATION TECHNIQUES

Kim ,  S.G. ,  Kim 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

TRENCH ETCHING FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION USING $Cl_2/Ar$ PLASMA

Kim ,  C.B. ,  Jun 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Control of Deposition Profile of Hard Carbon Films on Substrates Having Trenches

Jun Umetsu ,  Kazuno ,  i Koga 외 9명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

8인치 Trench MOSFET etch제조공정의 body profile 특성 향상 연구

양창헌 ,  김권제 ,  권영수 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .11

Deposition Profile Control of Carbon Films on the Surface of Fine Structures using Plasma CVD

Kzuno ,  i Koga ,  Takuya Nomu 외 10명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

Effects of Post Annealing and Oxidation Processes on the Removal of Damage Generated During the Shallow Trench Etch Process

Y. J. Lee ,  S. W. Hwang ,  J. W. Lee 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Analysis of Lattice Temperature in Super Junction Trench Gate Power MOSFET as Changing Degree of Trench Etching

Byeong-il Lee ,  Jong Min Geum ,  Eun Sik Jung 외 3명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2014 .06

4H-SiC Trench MOSFET 응용을 위한 Ar Reshape 공정 최적화

성민제 ,  강민재 ,  김홍기 외 5명

전기전자학회논문지

2018 .12

Shallow trench 식각 공정시 발생하는 손상의 후속 열처리 및 산화공정에 따른 거동에 관한 연구

이영준 ,  황순원 ,  이주욱 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Shallow Trench 식각공정시 발생하는 결함의 후속열처리 및 산화공정에 따른 거동에 관한 연구

이영준 ,  황순원 ,  김현수 외 3명

한국표면공학회지

1998 .10

자성 박막의 습식 식각 특성

정지원 ,  변요한

전기전자재료학회논문지

2002 .01

여러가지 구조를 갖는 Trench Capacitor의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics of Trench Capacitor with Various Structures )

이진희 ,  남기수 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

Analysis of Residue-Residue Interaction Network and Functionally Important Residues in Proteins

Dongsup Kim

한국생물공학회 학술대회

2007 .04

건식 식각 공정 에서 Mirco-Loading effect에 의한 trench 식각 깊이의 변화에 대한 실험

박세환 ,  김동환

대한전자공학회 학술대회

2009 .11

통계적 기법을 이용한 에칭공정의 시뮬레이션

정흥철 ,  정지원 ,  최경민 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .11

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06