Shallow Trench Isolation for 0.15mm Device

Jung H. Lee ,  Se J. Rhee ,  Jun G. Choi 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Sub 2-Micron CMOS 개발

최민성

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

TRENCH ETCHING FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION USING $Cl_2/Ar$ PLASMA

Kim ,  C.B. ,  Jun 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Shallow trench 식각 공정시 발생하는 손상의 후속 열처리 및 산화공정에 따른 거동에 관한 연구

이영준 ,  황순원 ,  이주욱 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Shallow Trench 식각공정시 발생하는 결함의 후속열처리 및 산화공정에 따른 거동에 관한 연구

이영준 ,  황순원 ,  김현수 외 3명

한국표면공학회지

1998 .10

Simulations of Stress and Narrow Width Effects in Shallow Trench Isolation and Its Applications

Yong-Jae Lee ,  Jong-Hyung Lee

INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING

2011 .06

DTI(Deep Trench Isolation) 공정에서 항복전압 천이 현상 연구

김희대 ,  고철주 ,  박주원 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

Novel Model and Protection Technique for Charged Device Model in Half-Micron CMOS Process

Eun Kyoung Kwon ,  H. R. Pa ,  k 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Effects of Post Annealing and Oxidation Processes on the Removal of Damage Generated During the Shallow Trench Etch Process

Y. J. Lee ,  S. W. Hwang ,  J. W. Lee 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

65 ㎚이하 shallow trench isolation (STI) gap fill 특성향상을 위한 profile 개선 연구

김희대 ,  박창기 ,  이내응

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

Determination of End Point for Direct Chemical Mechanical Polishing of Shallow Trench Isolation Structure

Yong-Jin Seo ,  Kyoung-Jin Lee ,  Sang-Yong Kim 외 1명

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2003 .02

Sub-Half Micron Contact 식각에서 Post Etch Treatment 연구

박병준 ,  김진웅 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

STI(Shallow Trench Isolation) 공정에서 Torn Oxide Defect 해결에 관한 연구

김상용 ,  서용진 ,  김태형 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

Deep Implementation을 이용한 CMOS 소자의 제작 및 측정 ( The Fabrication and Evaluation of CMOS Device Using Deep Implantation )

김광수 ,  김여환 ,  김보우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

ANALYSIS OF ETCHED SILICON SURFACE FOR TRENCH ISOLATION TECHNIQUES

Kim ,  S.G. ,  Kim 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

고 전력 DMOSFET 응용을 위한 트렌치 게이트 형성에 관한 연구

박훈수 ,  구진근 ,  이영기

전기전자재료학회논문지

2004 .01

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of diode using trench isolation )

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

STI 구조를 갖는 소자의 leakage path 발생 과정에 대한 모델링 연구

서대만 ,  박연식 ,  상재호 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

Shallow Trench Isolation 공정에서 수분에 의한 nMOSFET의 Hump 특성

이영철

한국정보통신학회논문지

2006 .12