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반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiNx 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과
한국표면공학회지
2019 .12
RF Sputtering을 이용한 전류 민감성 차단 디바이스에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiNx 박막의 XPS 분석
한국안광학회지
1998 .12
RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiNx 박막의 면저항분석
한국안광학회지
1999 .06
RF Magnetron Sputtering 으로 형성시킨 PZT 박막 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
RF Sputtering 방법을 이용한 ZnO 투명전극의 특성
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1984 .01
RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성
대한전자공학회 학술대회
1984 .11
Effect of Sputtering Parameters on The Luminescent Properties of ZnO:Er Thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering
한국재료학회 학술발표대회
2006 .01
Electrical Properties of (Bi,Y)₄Ti₃O₁₂ Thin Films Grown by RF Sputtering Method
Journal of Electrical Engineering & Technology
2007 .03
고주파 마그네트론 스퍼터장치로 증착한 Ti 박막의 특성에 관한 연구
열처리공학회지
2009 .01
RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회지
1994 .01
RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
Fabrication of $MgB{_2}$ Thin Films by rf Sputtering
한국초전도학회 High Temperature Superconductivity
2002 .01
RF Sputtering 방법으로 증착된 배향막용 SiO₂ 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
RF Sputtering에 의한 SrTiO$_3$ 박막의 특성 개선
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO4 박막의 물성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
DC 및 RF 스퍼터링법으로 증착한 Cr 박막의 특성 비교
한국재료학회지
2006 .01
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