RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering법으로 제작한 투명전도성 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구

전용수 ,  김성수

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

RF Magnetron Sputtering 으로 BST 증착한 박막의 특성연구

양기덕 ,  조해석 ,  조호진 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 AlN박막의 우선배향성

진덕용 ,  최대규 ,  이창엽

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF-magnetron sputter법을 이용한 silicon nitride 박막의 제조

하윤정 ,  이상운 ,  신재혁 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작된 Pb[(Zr,Sn)Ti]NbO₃ 박막의 강유전 특성

최우창 ,  최혁환 ,  이명교 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

DEGRADATION OF Zn₃N₂ FILMS PREPARED BY REACTIVE RF MAGNETRON SPUTTERING

Masanobu Futsuha ,  a ,  Katsuaki Yoshioka 외 1명

한국표면공학회지

1996 .10

RF magnetron sputtering 법에 의한 $RuO_2$ 박막의 제조와 물성에 관한 연구

최재용 ,  심규하 ,  최덕균

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering

Jun-Pyo Hong ,  Ki Chang Lee ,  Un Bin Han 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Rf-magnetron sputtering system을 사용한 YBa₂Cu₃O_x초전도 박막의 제조

박성진 ,  김민기 ,  최성환 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

RF magnetron sputter로 성장시킨 고유전 $TiO_2:SiO_2$ 박막의 특성

김성연 ,  오병윤 ,  함문호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

RF Magnetron Reactive Sputtering 법을 이용한 RuO2 박막의 제작과 특성에 관한 연구 ( Preparation and Properties of RuO2 Thin Films by Using the RF Magnetron Reactive Sputtering )

강성준 ,  장동훈 ,  윤영섭 외 1명

전자공학회논문지-D

1997 .08

RF Magnetron Reactive Sputtering 법을 이용한 RuO₂ 박막의 제작과 특성에 관한 연구

오영석 ,  장동훈 ,  강성준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

RF Magnetron Reactive Sputtering법을 이용한 RuO2 박막의 제작과 특성에 관한 연구 ( Preparation and Properties of RuO2 Thin Films by Using the RF Magnetron Reactive Sputtering )

오영석 ,  장동훈 ,  강성준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .07