RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

RF Sputtering 방법을 이용한 ZnO 투명전극의 특성

이정철 ,  김석기 ,  윤경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Effect of Sputtering Parameters on The Luminescent Properties of ZnO:Er Thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering

송현돈 ,  김영진

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

R.F. sputtering으로 제조된 ZnO박막의 응력거동에 미치는 Annealing의 영향

류상 ,  김영만

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

The Effects of Post-annealing Temperatures on Electrical Characteristics of ZnO TFTs

Byngn Il Hwang ,  Kyung Pa ,  k 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명반도체 특성

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

In-situ 분위기 Annealing에 따른 ZnO/Sapphire(0001) 박막의구조적 특성 분석

유인성 ,  왕민성 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2006 .01

ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering

Jun-Pyo Hong ,  Ki Chang Lee ,  Un Bin Han 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

RF-Sputtering 법을 이용한 ZnO:Al 박막의 후 열처리에 따른 특성 변화

이재형 ,  이동진

전기전자재료학회논문지

2008 .01

Undoped ZnO 박막에 Ampoule-tube 방법을 이용한 P와 As의 확산과 p형 ZnO 박막의 전기적 특성

소순진 ,  박춘배 ,  왕민성

전기전자재료학회논문지

2005 .01

박막트랜지스터 구동회로용 ZnO 박막의 구조적 특성에 관한 연구

손지훈 ,  김상현 ,  김홍승 외 1명

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2013 .01

기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의성장과 미세구조 분석

소순진 ,  유인성 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2006 .01

SAW Convolver 를 위해 RF Sputter 된 ZnO 박막 ( RF Sputtered ZnO Thin Film for SAW Convolver )

이화용 ,  이우일

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

SAW Convolver를 위해 RF Sputter된 ZnO 박막

이화용 ,  이우일

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

RF스퍼터링법으로 성장시킨 n-ZnO 박막과 n-ZnO/p-GaN 이종접합 LED의 특성

신동휘 ,  변창섭 ,  김선태

한국재료학회지

2013 .01

RF 출력이 ZnO 박막의 전기·광학적 특성에 미치는 영향

신동휘 ,  변창섭 ,  김선태

한국재료학회지

2012 .01

PLD와 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 SAW 필터용 ZnO 박막의 특성 연구

이승환 ,  유윤식

전기전자재료학회논문지

2012 .01

RF-sputter를 이용하여 (001)Si 기판위에 성장한 ZnO박막에 성장온도, 공정가스비, 저온버퍼가 미치는 영향

김강복 ,  이수만 ,  고항주 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .11

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO:Er 박막형광체의 발광 특성

송현돈 ,  김영진

한국재료학회지

2006 .01