RF Sputtering 방법으로 증착된 배향막용 SiO₂ 박막의 특성

박인규; 유현지; 문혜수; 주성후

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박인규 (대진대학교) 유현지 (대진대학교) 문혜수 (대진대학교) 주성후 (대진대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019년도 한국표면공학회 춘계학술대회 및 특별강습회

발행연도: 2019.5

수록면: 84 - 84 (1page)

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