반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

금속 표면에 형성된 잔류막의 제거를 위한 RF sputter의 효과

진승대 ,  염근영 ,  강진영 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF Sputtering 방법을 이용한 ZnO 투명전극의 특성

이정철 ,  김석기 ,  윤경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

Electrical Properties of (Bi,Y)₄Ti₃O₁₂ Thin Films Grown by RF Sputtering Method

Sung-Pill Nam ,  Sung-Gap Lee ,  Seon-Gi Bae 외 1명

Journal of Electrical Engineering & Technology

2007 .03

Effect of Sputtering Parameters on The Luminescent Properties of ZnO:Er Thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering

송현돈 ,  김영진

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

RF Magnetron Sputtering 으로 형성시킨 PZT 박막 특성 연구

하용해 ,  백수현 ,  백상훈 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구

배일용 ,  김기준 ,  문경만 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

Fabrication of $MgB{_2}$ Thin Films by rf Sputtering

Ahn ,  Jong-Rok ,  Hwang 외 3명

한국초전도학회 High Temperature Superconductivity

2002 .01

RF Sputtering 방법으로 증착된 배향막용 SiO₂ 박막의 특성

박인규 ,  유현지 ,  문혜수 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

고주파 마그네트론 스퍼터장치로 증착한 Ti 박막의 특성에 관한 연구

배창환 ,  이주희 ,  한창석

열처리공학회지

2009 .01

RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구

연제호 ,  김홍배

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

RF Sputtering에 의한 SrTiO$_3$ 박막의 특성 개선

김상훈 ,  백수현 ,  이은성 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

RF / IF Front-end Design

윤찬의

대한전자공학회 워크샵

1997 .01