LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

LPCVD System

이중환

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

증착온도가 LPCVD 실리콘 박막의 물성과 전기적 특성에 미치는 영향

洪贊熹 ,  朴昌燁

전기학회논문지

1992 .07

LPCVD 방법에 의한 고신뢰성 다결정 실리콘박막의 증착 ( High Reliable Polysilicon Film Deposited by LPCVD )

김상호 ,  전치훈 ,  장원익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )

고재석 ,  구경완 ,  조동율 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

증착속도에 따른 LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화거동

최용우 ,  손동균 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

LPCVD 텅스텐 박막에 관한 고찰

장원익 ,  유형준

[ETRI] 전자통신동향분석

1987 .12

Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구

洪贊熹 ,  朴昌燁

전기학회논문지

1991 .07

LPCVD 공정중 웨이퍼의 온도장 해석 ( Thermal Analysis of the Wafers in LPCVD Process )

김일경 ,  정민철 ,  김우승 외 3명

대한기계학회 논문집 B권

1998 .05

LPCVD 공정중 웨이퍼의 온도장 해석 ( An Analysis of Temperature Field of Wafers in LPCVD Process )

김일경 ,  정민철 ,  김우승 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

1997 .01

램프 가열 방식 LPCVD 장비의 설계 및 제작

하용민 ,  김태성 ,  김충기

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

LPCVD법으로 제작한 이산화 실리콘 막의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of Silicon Dioxide Film Fabricated with LPCVD )

윤형섭 ,  이진희 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

LPCVD 및 PECVD 시스템

이중환

전자공학회잡지

1983 .10

LPCVD법으로 증착된 다층비정질 실리콘박막의 고상결정화

황의훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

LPCVD 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과에 관한 연구

金容商 ,  崔權永 ,  金榮浩 외 1명

전기학회논문지

1994 .12

LPCVD 다결정 실리콘 막 성질이 박막트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향

하승호 ,  이진민 ,  박승희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

저온제작 LPCVD 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of LPCVD Poly Silicon Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature )

박승희 ,  정주용 ,  홍찬희 외 1명

전자공학회논문지-A

1992 .06

주입가스 차단을 이용하여 불연속 증착방법에 의해 제조된 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화

정세진 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Study on removing the defects in LPCVD poly-Si films by two-stage deposition method

Kim Gyong Nam

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

1995 .08