GaAs위에 증착된 텅스텐의 열처리 특성 ( Effects of Annealing on the Characteristics of Tungsten Deposited on GaAs )

이창석 ,  이종람 ,  박형무 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1987 .01

GaAs위에 증착된 텅스텐의 열처리 특성 ( Effects of Annealing on the Characteristics of Tungsten Deposited on GaAs )

이창석 ,  이종람 ,  박형무 외 1명

특정연구 결과 발표회 논문집

1987 .01

LPCVD 방식으로 SiO₂ 위에 증착된 텅스텐 박막의 특성 분석

윤선필 ,  노관종 ,  황성민 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

플라즈마 화학증착 텅스텐 박막 특성에 미치는 표면 반응온도의 영향 ( Effects of Surface Reaction Temperature on the Properties of Plasma Enhanced CVD Tungsten Thin Films )

김용태 ,  민석기 ,  이명복 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

플라즈마 화학 증착 텅스텐 박막의 특성에 미치는 수소분압의 영향 ( Effects of H2 / WF6 Input Ratio on the Properties of PECVD-W Thin Films )

홍종성 ,  김용태 ,  민석기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

기상화학증착 텅스텐 막질의 표면 형태에 관한 연구

전동수 ,  김선래 ,  이성영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )

이시우 ,  김원규

전자공학회지

1988 .08

사일린 환원반응에 의한 텅스텐 박막의 화학증착 ( Chemical Vapor Deposition of Tungsten by Silane Reduction )

황성보 ,  최경근 ,  이시우

전자공학회논문지

1990 .10

플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )

김용태 ,  민석기 ,  홍종성 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

GaAs 기판위에 PECVD로 증착된 Silicon Nitride의 특성분석

서경수 ,  최성우 ,  곽병화 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04

Si3N4 기판 위에 PECVD 법으로 형성한 Tungsten Nitride 박막의 특성 ( Characteristic of PECVD-WNx Thin Films Deposited on Si3N4 Substrate )

배성찬 ,  박병남 ,  손승현 외 2명

전자공학회논문지-D

1999 .07

TiN 표면 위에 텅스텐의 화학증착 ( Chemical Vapor Deposition of Tungsten on TiN Surface )

이청 ,  이시우 ,  이건홍

전자공학회논문지-A

1992 .04

스퍼터링으로 증착한 바나듐 텅스텐 산화물 박막의 전기화학적 거동

박영신 ,  이병일 ,  주승기

한국표면공학회지

1997 .04

갈륨비소에 대하여 전위장벽이 높은 내열성 텅스텐 및 질화텅스텐 접촉 ( Refractory W and WNx Contacts to GaAs Showing Hugh Schottky Barrier Height )

이재신 ,  박철순 ,  양전욱 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

의료 방사선사용에 따른 납과 텅스텐의 차폐효과 분석

장동근 ,  김규형 ,  박철우

한국방사선학회 논문지

2018 .01

PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착

허창우

한국정보통신학회논문지

2007 .11

PECVD 방법으로 증착된 알루미늄 산화박막의 조성 및 구조 분석

김용천 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

텅스텐 첨가에 따른 V_2-nW_nO₅ 박막의 구조적, 전기적 특성

남성필 ,  이성갑 ,  배선기 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .10