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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.1
- 수록면
- 194 - 197 (4page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
2006
Growth and characterization of Eu-doped bismuth titanate (BET) thin films deposited by sol-gel method
Kang
,
Dong-Kyun
,
Kim
외 1명
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2006.01
학술대회자료
The ferroelectric and fatigue properties in Gd-modified bismuth titanate (BGT) thin films deposited by liquid delivery MOCVD
Kang
,
Dong-Kyun
,
Pa
외 4명
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2006.01
학술대회자료
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Lead-free bismuth-layered perovskite ferroelectric europium-substituted $Bi_{4}Ti_{3}O_{12}(BTO)$ thin films have been successfully deposited on Pt/Ti/$SiO_2$/Si substrate by a sol-gel spin-coating process. $Bi(TMHD)_3,\;Eu(THMD)_3,\;Ti(OiPr)_4$ were used as the precursors, which were dissolved in 2-methoxyethanol. The thin films were annealed at various temperatures from $600^{\circ}\;to\;720^{\circ}C$ in oxygen ambient for 1 hr, which was followed by post-annealed for 1 hr after depositing a Pt electrode to enhance the electrical properties. X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscopy (SEM) were used to analyze the crystallinity and surface morphology of layered perovskite phase, respectively. The remanent polarization value of the BET thin films annealed at $720^{\circ}C\;was\;25.95{\mu}C/cm^2$ at an applied voltage of 5 V.
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