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저자정보
강윤석 (국민대학교 자동차공학전문대학원) 장시열 (국민대학교 기계자동차공학부) 임홍재 (국민대학교 기계자동차공학부) 신동훈 (국민대학교 기계자동차공학부) 정재일 (국민대학교 기계자동차공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 춘계학술대회
발행연도
2006.1
수록면
269 - 272 (4page)

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Surface contacts between mold and target should be in parallel for the imprinting mechanism. However, the size of contacting area makes it difficult for both mating surfaces to be in all contact because of precision level of the imprinting machine and the waviness of mold and target. The gripping force for both mold and target with the vacuum chuck is also major effect to interrupt the full contact, which must be avoided in imprinting mechanism. In this study, the preliminary study for the causes of non-uniformity of contacting surfaces such as mold and target is performed with $470{\times}370mm^2$ LCD panel size.
#contacting surfaces #vacuum chuck #parallel contact mechanism #squeeze film effect #gap control

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