진공척 흡착패드 형태에 따른 대면적 임프린팅 균일 접촉 향상 연구

장시열

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자료유형: 학술저널

저자정보: 장시열

저널정보: 한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants 윤활학회지 제24권 제6호

발행연도: 2008.12

수록면: 326 - 331 (6page)

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The contact surfaces between mold and target should be in parallel for a proper imprinting process. However, large size of contacting area makes it difficult for both mating surfaces (mold and target planes) to be in all uniform contact with the expected precision level in terms of thickness and position. This is caused by the waviness of mold and target although it is very small relative to the area scale. The gripping force for both mold and target by the vacuum chuck is other major effect to interrupt the uniform contact, which must be avoided in imprinting mechanism. In this study, the cause of non-conformal contact mechanism between mold and target is investigated with the consideration of deformation due to the vacuum gripping for the size 470×370㎟ LCD panel.

#contacting surfaces #vacuum chuck #parallel contact mechanism #squeeze film effect #gap control #Reynolds equation #imprinting

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Guo,L.J. / 2004 / Recent Progress in Nanoimprint Technology and Its Applications / J.Phys.D:Appl.Phys 37:R123~141

Schift,H. / 2006 / Visualization of Mold Filling Stages in Thermal Nanoimprint by Using Pressure Gradients / J.Vac.Sci.Technol.B (6):2312~2316

Heyderman,L.J. / 2000 / Flow Behavior of Thin Polymer Films used for Hot Embossing Lithography / Microelectronic EngineeringVol.54pp.229-245 54:229~245

Hamrock, B. J. / Fundamentals of Fluid Film Lubrication / McGraw-Hill

Landis,S. / 2006 / Stamp Design Effect on 100 nm Feature Size for 8 inch Nanoimprint Lithography / Nanotechnlogy 17:2701~2709

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