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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
신동혁 장시열 (국민대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2009년도 제49회 추계학술대회
발행연도
2009.11
수록면
215 - 219 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

UV임프린트 공정에서 임프린팅 가압력 및 가압시간에 따른 레진 잔막 두께형성에 대한 실험연구
신동혁 ,  장시열 Tribology and Lubricants 2010.10 학술저널

2009

UV 임프린트 공정에서 가압 변화에 따른 레진막 두께 형성 연구
신동혁 ,  장시열 한국트라이볼로지학회 학술대회 2009.11 학술대회자료

초록· 키워드

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The parallel contact mechanism between mold and target is the on of most important issues for the imprinting system. It is influenced by precision level of the imprinter, the waviness of mold and target and the stage motion for alignment. The uniformity of PR fluid thickness should be maintained for imprinting quality, and the ununiformity of PR fluid thickness is caused by unstable pressure distribution. In this study, we captured film shape of PR fluid film with the image processing method under several motions of contact stage. It is expected to get the information of pressure distribution by measuring the film thickness of PR fluid.
#Contact surfaces(접촉평면) #Parallel contact mechanism(평평도 제저) #film thickness measurement(유막두께 측정) #image processing(이미지 처리)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌

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