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저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2008년도 제47회 추계학술대회
발행연도
2008.11
수록면
300 - 303 (4page)

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The parallel contact mechanism between mold and target is the on of most important issues for the imprinting system. It is influenced by precision level of the imprinter, the waviness of mold and target and the stage motion for alignment. The uniformity of PR fluid thickness should be maintained for imprinting quality, and the ununiformity of PR fluid thickness is caused by unstable pressure distribution. In this study, we captured film shape of PR fluid film with the image processing method under several motions of contact stage. It is expected to get the information of pressure distribution by measuring tile film thickness of PR fluid.
#Contact surfaces(접촉평면) #Parallel contact mechanism(평평도 제저) #film thickness measurement(유막두께 측정) #image processing(이미지 처리)

목차

Abstract
1. 서론
2. LCD 임프린팅 시스템의 설계, 제작
3. 두께 측정 매커니즘
4. 간섭효과 측정
5. 결론
감사의 글
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