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학술대회자료
저자정보
장시열 (국민대학교) 임홍재 (국민대학교) 강윤석 (국민대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2006년도 제42회 춘계학술대회
발행연도
2006.6
수록면
199 - 203 (5page)

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Surface contacts between mold and target should be in parallel for the imprinting mechanism. However, the size of contacting area makes it difficult for both mating surfaces to be in all contact because of precision level of the imprinting machine and the waviness of mold and target. The gripping force for both mold and target with the vacuum chuck is also major effect to interrupt the full contact, which must be avoided in imprinting mechanism. In this study, the preliminary study for the causes of non-uniformity of contacting surfaces such as mold and target is performed with 470 × 370㎟ LCD panel size.
#contacting surfaces #vacuum chuck #parallel contact mechanism #squeeze film effect #gap control

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. LCD 임프린팅 시스템의 개요
3. 몰드 고정 형태에 따른 두께 변형
4. 접촉 틈새에서의 유체 입력
4. 결론
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