지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2002.1
- 수록면
- 50 - 53 (4page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Vibration Reduction of Spin Etcher
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2002 .01
-
12" 웨이퍼 Spin etcher용 실시간 박막두께 측정장치의 개발
한국반도체장비학회지
2003 .01
-
Spin Etcher의 진동 분석
한국반도체장비학회지
2003 .01
-
Oxide Etcher
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2008 .01
-
Spectrally Resolved Phase Shifting Interferometry for Film Thickness and Surface Profiling
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .11
-
Dry Etcher 기술개발 동향과 발전
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2008 .01
-
백색광 간섭계의 응용 및 정확도 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
-
백색광 간섭계에서 광원에 따른 측정 효과
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2007 .05
-
전자개인선량계(EPD)의 외부피폭방사선량 평가 성능분석
방사선방어학회지
2015 .01
-
백색광 간섭계를 이용한 TSV Bottom CD 측정 방법에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .10
-
자유 곡면 형상 측정을 위한 백색광 주사 간섭계의 정확도 향상 및 시스템 오차 분석
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2014 .07
-
Fault Detection of Plasma Etchers using Big Data Analysis
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2014 .09
-
Flexible Microelectronics; High-Resolution Active-Matrix Electrophoretic Displays
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2005 .01
-
백색광 주사 간섭법을 이용한 대영역 측정법
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
-
다중 채널 EPD제어기의 개발
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1997 .10
-
수직형 식각 장비의 노즐 분사 시스템에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2011 .01
-
분산형 백색광 간섭계를 이용한 미세 박막 구조물의 삼차원 두께 형상 및 굴절률의 실시간 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
-
플라즈마 식각공정에서의 EPD(End Point Detection) 제어기에 관한 연구
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1996 .10
-
차세대 Poly Etcher 장비에 요구되는 요소 기술의 이해
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2008 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0