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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
174 - 179 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

백색광 주사 간섭법을 이용한 대영역 측정법
김기홍 ,  이득우 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

1999

백색광 주사 간섭법을 이용한 박막의 두께 형상 측정법
김기홍 ,  김승우 한국광학회지 1999.10 학술저널

초록· 키워드

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This paper shows large area measuring method using white-light scanning interferometry. In most cases using optical instruments, the measuring area will be restricted by field of view of objectives. So we need another method in order to measure large area over the field of view. Stitching method has been studied for a long time to overcome this restriction. This method makes one 3D map by merging many results which are measured separatedly but have some overlapped regions among consecutive areas. The most important advantage is that we can analyze large area 3D profile without sacrificing lateral resolution.
#White-Light Scanning Interferometry #Stitching #3D Profile #Interferometry #Optical Method

목차

Abstract
1. 서론
2. 백색광 주사 간섭법
3. 정합
4. 측정 결과
5. 결론
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자유 곡면 형상 측정을 위한 백색광 주사 간섭계의 정확도 향상 및 시스템 오차 분석
김영식 ,  Angela Davies ,  이혁교 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2014 .07
형상의 이차미분을 이용한 비구면 형상측정기술 개발
김병창 한국기계가공학회지 2011 .04
백색광을 이용한 곡률 측정법 개발
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