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저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.5
수록면
233 - 238 (6page)

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2008

백색광 간섭계의 위상 정점 알고리즘에서 조명에 따른 위상 정점 모호성에 관한 연구
김기홍 ,  이형석 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008.01 학술저널

2007

백색광 간섭계에서 광원에 따른 측정 효과
김기홍 ,  이득우 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.05 학술대회자료

초록· 키워드

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This paper deals with the effects of light sources in white-light scanning interferometry. The spectrum of light sources determines the coherence lengths in white-light scanning interferometry, and it will be represented by a sharpness, and length of interferograms. For a long time, tungsten-halogen lamps have been used for light sources because of brightness and price. But the light efficiency of them is very low, because they generate more heat, usually IR region, than visible light. Above all, fibers are used to guide light, and there is significant loss of power when the length of fiber exceed 2~3m. Recently LEDs are widely used for general illuminations, and they are getting brighter. This paper compares the effects of these two light sources.
#White-Light Scanning Interferometry #Stitching #3D Profile #Interferometry #Optical Method

목차

Abstract
1. 서론
2. 백색광 주사 간섭법
3. 광원의 스펙트럼 비교
4. 가시도 정점 알고리즘 비교
5. 위상 정점 알고리즘 비교
6. 결론
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김영식 ,  Angela Davies ,  이혁교 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2014 .07
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반도체 불량 검사를 위한 백색광 간섭계의 고속화
이두길 ,  고국원 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007 .06
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이성훈 ,  고국원 ,  고경철 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006 .10

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