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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제18권 제2호
발행연도
2009.3
수록면
85 - 91 (7page)

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현재 플렉시블 폴리머를 이용한 MEMS (Microelectromechanical Systems) 기술이 빠르게 발전하고 있다. 그 중에서 Polycarbonate (PC), Poly Methyl Methacrylate (PMMA)와 같은 플렉시블 폴리머 재료는 광학적 특성이 우수하고 인체 친화적이며 미세 패턴 제조 공정이 용이하다는 등의 많은 장점을 가지고 있다. 본 연구는 반응성 이온 식각 기술을 이용하여 O₂, SF? 그리고 CH₄의 삼성분계 가스의 혼합 비율에 따른 PC와 PMMA의 건식 식각 결과 및 특성 평가에 관한 것이다. 준비한 각각의 기판에 포토리소그래피 방법으로 마스크를 형성하여 샘플을 만들었다. RF 척 파워를 100 W, 총 가스 유량을 10 sccm으로 고정시켜 플라즈마 식각 실험을 실시하였다. 그 결과에 의하면 전체적으로 PMMA의 식각율이 PC보다는 약 2배 정도 높았다. 그 결과는 PC는 PMMA 보다 상대적으로 높은 녹는점을 가지고 있다는 사실과 관계가 있다고 생각한다. 또한 O²/SF?/CH₄의 삼성분계 가스와 SF?/CH₄, O₂/SF?, O₂/CH₄로 나누었을 때 O₂/SF?의 혼합 가스에서 PMMA와 PC의 식각 속도가 가장 높았다 (PC: 5 sccm O₂/5 sccm SF6에서 약 350 nm/min, PMMA: 2.5 sccm O₂/7.5 sccm SF6에서 약 570 ㎚/min). SEM을 활용하여 식각된 표면을 분석한 결과 PC는 PMMA보다 상대적으로 식각 표면이 더 매끈하였다. 또한 표면 거칠기 분석결과 PC의 표면 거칠기는 1.9~3.88 ㎚이었지만 PMMA의 표면 거칠기는 17.3~26.1 ㎚로 현저하게 높았음을 확인할 수 있었다.
#Polycarbonate #PMMA #건식 식각 #플렉시블 폴리머 #반응성 이온 식각 #삼성분계 가스 #Dry etching #Flexible polymers #Capacitively coupled plasma

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (17)

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1. [학술지(정기간행물)] - 이성호 / 2006 / / 전기전자재료학회지 18 : 28 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - 강지윤 / 2004 / / 전기전자재료 17 : 5 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - 윤광석 / 2006 / 바이오 멤스 및 마이크로 시스템 적용을 위한3차원 마이크로 유로 제작 / 센서학회지 15 (5) : 357 ~ 361 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - A. M. Wrobel / 1988 / / Plasma Chemistry and Plasma Prosessing 8 : 315 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - C. Seidel / 1998 / / Surface and Interface Analysis 26 : 306 ~ google schola

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