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김석환 (성균관대학교) 이형철 (성균관대학교) 염근영 (성균관대학교) 전영진 (나노소자특화팹센터)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
418 - 418 (1page)

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