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This paper reports a new technology to implement complex PDMS microchannels, which are simply constructed usingthre-dimensional photoresist structures as mold for PDMS replica process. The process utilizes LOR resist as a sacrificialVarious shapes of photoresist structures were sucesfully fabricated. Using the PDMS replica method, the three-dimensional photoresist structures are demonstrated to be applicable for implementing complex microchannels in PDMS.In addition, more complex multilevel microchannels are constructed by bonding two PDMS layers with just single PDMSalignment.
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/ 1998. / Multilevel microstructure fabrication using single-step 3D photolithography and singlestep electroplating 3512 : 358 ~ 366
/ 2000. / Fabrication of topologically complex three-dimensional microfluidic systems in PDMS by rapid prototyping 72 : 3158 ~ 3164
/ 2000. / Three-dimensional micro-channel fabrication in polydimethylsiloxane 9 (1) : 76 ~ 81
/ 2001. / A novel micro-machining method for the fabrication of thick-film SU-8 embedded microchannels 11 : 27 ~ 33
/ 2001. / Modular approach to fabrication of three-dimensional microchannel systems in PDMS-application to sheath flow microchips 1 (2) : 108 ~ 114
/ 2000. / Fabrication of topologically complex three-dimensional microfluidic systems in PDMS by rapid prototyping 72 : 3158 ~ 3164
/ 2000. / Three-dimensional micro-channel fabrication in polydimethylsiloxane 9 (1) : 76 ~ 81
/ 2001. / A novel micro-machining method for the fabrication of thick-film SU-8 embedded microchannels 11 : 27 ~ 33
/ 2001. / Modular approach to fabrication of three-dimensional microchannel systems in PDMS-application to sheath flow microchips 1 (2) : 108 ~ 114
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