메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제7권 제4호
발행연도
1998.11
수록면
368 - 373 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

1998

가스 조성이 저유전상수 a-C:F 층간절연막의 특성에 미치는 영향
박정원 ,  양성훈 ,  이석형 외 3명 Applied Science and Convergence Technology 1998.11 학술저널
ECRCVD법에 의한 저유전율 a-C:F 층간절연막의 특성
박정원 ,  손세일 ,  양성훈 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 1998.07 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
초고접적 회로의 미세화에 따라 다층배선에서 기생저항(parasitic resistance)과 정전용량의 증가는 RC 시정수(time constant)의 증가로 인하여 소자의 동작속도를 제한하고 있다. 이로 인하여 발생되는 배선지연의 문제를 해결하기 위하여 매우 낮은 유전상수를 갖는 층간 절연물질이 필요하다. 이러한 저유전상수 층간결연물질로서 현재 유기계 물질중의 하나인 a-C:F이 주목받고 있는 물질이다. 본 연구에서는 ECRCVD를 이용하여 a-C:F 박막과 Si기판사이의 밀착력을 향상시키기 위하여 a-C:H 박막을 500Å 증착한 후 a-C:F을 증착전력 500 W에서 원료가스의 유량비(C₂F_6/(C₂F_6+CH₄))를 0~1.0까지 변화시키면서 상온에서 증착하였다. a-C:F 박막의 특성은 SEM, FT-IR, XPS, C-V meter와 AFM등을 이용하여 두께, 결합상태, 유전상수, 표면형상 및 표면 거칠기를 관찰하였다. a-C:F 박막에서 불소함량은 가스 유량비가 1.0일 경우에는 최대 약 31 at.%정도 검출되었으며, 가스 유량비가 증가됨에 따라 증가하였다. 또한 유전상수는 a-C:H의 유전상수 ε=3.8에서 ε=2.35까지 감소하였다. 이는 영구 쌍극자 모멘트가 1.5인 C-H 결합은 감소하고 영구 쌍극자 모멘트가 0.6, 0.5인 CF, CF₂결합이 증가하였기 때문이다. 하지만 400℃에서 질소분위기로 1시간 동안 furnace 열처리 후에 가스유량비가 1.0인 a-C:F 박막에서 불소의 함량이 감소하여 C-F 결합이 줄어들었다. 이로 인하여 유전상수가 열처리전의 2.7에서 열처리후 3.2까지 상승하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001266889