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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제15회 학술발표회논문개요집
발행연도
1998.7
수록면
77 - 77 (1page)

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1998

가스 조성이 저유전상수 a-C:F 층간절연막의 특성에 미치는 영향
박정원 ,  양성훈 ,  이석형 외 3명 Applied Science and Convergence Technology 1998.11 학술저널
ECRCVD법에 의한 저유전율 a-C:F 층간절연막의 특성
박정원 ,  손세일 ,  양성훈 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 1998.07 학술대회자료

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목차

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과 및 고찰

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