지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.1
- 수록면
- 0 - 0 (1page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Ferroelectric Bi4-xNdxTi3O12(BNdT) thin films with the composition(x=0.75) were prepared on Pt/Ti/SiO2/Si(100) substrate by metal-organic deposition. The films were annealed by various temperatures from 550 to 650℃ and then the electrical and structural characteristics of BNdT films were investigated for the application of FRAM. Electrical properties such as dielectirc constant, 2Pr and capacitance were quite dependent on the thermal heat treatment. The measured 2Pr value on the BNdT capacitor annealed at 650℃ was 56μC/㎠ at an applied voltage of 5V. In fatigue characteristics value remained constant up to 8×1010 read/write switching cycles at a frequency of 1Mhz regardless of annealing temperatures.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
(Bi,La)$Ti_3O_12$ 강유전체 박막의 전기적 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
-
Bi4Ti3O12 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구 ( Preparation of a Bi4Ti3O12 Thin Film and Its Electrical Properties )
전자공학회논문지-SD
2000 .04
-
졸-겔법으로 Pt/Ti/SiO/Si 기판위에 제작된 (Bi,La)TiO 강유전체 박막의 특성 연구
한국재료학회지
2002 .01
-
MOD 법으로 제작된 Bi3.25La0.75Ti3O12 박막의 강유전 특성
전기전자재료학회논문지
2002 .01
-
Bi⁴Ti₃O12 박막의 구조적 특성과 유전 특성에 미치는 산소 열처리 효과
전기전자재료학회논문지
2009 .01
-
BNdT(Bi3.25Nd0.75Ti₃O₁₂) 강유전 박막 성장거동에 미치는 증찬온도의 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .11
-
Ferroelectric Characteristics of SBT Thin Films Fabricated by MOD Process for FRAM Applications
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
-
Effect of Annealing Temperature on the Properties of Sputtered Bi3.25La0.75Ti3O12 Thin Films
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2013 .01
-
비휘발성 메모리 소자응용을 위한 Eu 첨가량에 따른 BET 박막의 강유전 특성
전기전자재료학회논문지
2007 .01
-
비휘발성 메모리 소자응용을 위한 과잉 Bi 첨가에 따른 BLT 박막의 강유전 특성
전기전자재료학회논문지
2002 .01
-
졸-겔법으로 성장시킨 바나듐이 도핑된 ${Bi_4}{Ti_3}{O_{12}}$ 박막의 미세구조 및 전기적 특성
한국재료학회지
2001 .01
-
펄스레이저 증착법으로 제작된 (Pb0.72,La0.28)Ti0.93O3박막의 수소후열처리에 관한 전기적 특성 연구
전기전자재료학회논문지
2003 .01
-
FRAM 응용을 위한 건조온도에 따른 BLT 박막의 강유전 특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
-
Ferroelectric and Structural Properties of Nd-substituted $Bi_4Ti_3O_{12}$ Thin Films Fabricated by MOCVD
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2006 .01
-
Electrical Properties of Sol-gel Derived Ferroelectric Bi3.35Sm0.65Ti3O12 Thin Films by Rapid Thermal Annealing
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2005 .01
-
MOD법으로 제조한 $SrBi_{2x}Ta_2O_9$ 강유전체 박막의 열처리 공정에 따른 전기적 특성
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
-
MOCVD법과 MOD법으로 제작된 TaO 박막의 열처리 온도에 따른 유전특성연구
한국재료학회지
2003 .01
-
Neodymium이 첨가된 Bi₄Ti₃O₁₂ 강유전체 박막의 유전 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .07
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0