Al 도핑된 ZnO 박막에서 방출되는 보라색 발광 스펙트럼

황동현; 손영국; 조신호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 황동현 손영국 조신호

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제20권 제4호

발행연도: 2007.1

수록면: 318 - 324 (7page)

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We report on a strong violet luminescence emitted from the ZnO:Al films grown on glass substrate by radio-frequency magnetron sputtering. The growth of high-quality thin films and their optical properties are controlled by adjusting the mixture ratio of Ar and O2, which is used as the sputtering gas. The crystallinity of the films is improved as the oxygen flow ratio is decreased, as evidenced in both x-ray diffractometer and atomic force microscope measurements. As for the violet luminescence measured by photoluminescence (PL) spectroscopy, the peak energy and intensity of the PL signal are decreased with increasing the oxygen flow ratio. The peak energy of the violet PL spectrum for the thin film with an oxygen flow ratio of 50 % is almost constant, regardless of the increase of laser power and temperature. These results indicate that the violet PL signal is probably due to defects related to interstitial Zn atoms.

#Al-doped ZnO thin film #Violet luminescence #RF magnetron sputtering

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A. Manouni / 2006 / Effect of aluminium doping on zinc oxide thin films grown by spray pyrolysis / Superlattices and Microstructures 39 : 185 ~

A. Yamamoto / 2001 / Biexciton luminescence in high-quality ZnO epitaxial thin films / J. Appl. Phys. 90 : 4973 ~

B. J. Jin / 2000 / Violet and UV luminescence emitted from ZnO thin films grown on sapphire by pulsed laser deposition / Thin Solid Films 366 : 107 ~

D. Wang / 2006 / Effects of postgrowth annealing treatment on the photoluminescence of zinc oxide nanorods / J. Appl. Phys. 99 : 113509 ~

H. Ko / 2005 / Growth of Al- doped ZnO thin films by pulsed DC magnetron sputtering / J. Cryst. Growth 277 : 352 ~

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