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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.1
- 수록면
- 837 - 843 (7page)
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TiO2(2 wt.%)-doped ZnO(TZO) films with thickness from 100 nm to 500 nm were prepared on polyethylene naphthalate(PEN) substrate under various rf-power range from 40 W to 80 W. Their electrical and optical properties were investigated as a function of rf-power. We think that these properties were closely related with the crystallization and the film density of TZO films. It was also presumed that the vaporization of the water vapor and other adsorbed particles such as an organic solvents can affect the electrical properties of the conventional transparent conductive oxide(TCO) films. On the other hand, since the TZO film deposited on glass substrate at room temperature with rf-power of 80 W shows a very low resistivity of 7.510-4 Ωㆍcm and a very excellent transmittance over an average 85% in the visible range, that is comparable to that of ITO films. Therefore, we expect that the TZO films can be used as transparent electrode for optoelectronic devices such as touch-panels, flat-panel displays, and thin-film solar cells.
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D. Mardare / 2000 / On the structural properties and optical transmittance of TiO2 r.f.sputtered thin films / Appl. Surf. Sci. 156 : 200 ~
I. An / 1994 / Real time spectro ellipsometry study of the interaction of hydrogen with ZnO during ZnO/a-Si1?xCxH interface formation / Appl. Phys. Lett. 64 : 3317 ~
I. Hamberg / 1986 / Evaporated Sn-doped In2O3 films:Basic optical properties and applications to energy-efficient windows / J. Appl. Phys. 60 : R123 ~
J. M. Park / 2006 / Substrate Effects on the Characteristices of (In2O3)1-x (ZnO)x Films / Journal of the Korean Physical Society 48 (6) : 1624 ~ 1627
J. Tauc / 1974 / Amorphous and Liquid Semiconductors / Plenum
I. An / 1994 / Real time spectro ellipsometry study of the interaction of hydrogen with ZnO during ZnO/a-Si1?xCxH interface formation / Appl. Phys. Lett. 64 : 3317 ~
I. Hamberg / 1986 / Evaporated Sn-doped In2O3 films:Basic optical properties and applications to energy-efficient windows / J. Appl. Phys. 60 : R123 ~
J. M. Park / 2006 / Substrate Effects on the Characteristices of (In2O3)1-x (ZnO)x Films / Journal of the Korean Physical Society 48 (6) : 1624 ~ 1627
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