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- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.1
- 수록면
- 567 - 571 (5page)
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Polycrystalline ZnO and Ga doped ZnO (GZO) films are deposited on glass substrate by RF magnetron sputtering at room temperature. The characteristics of ZnO and GZO films are investigated with X-ray diffraction measurement, UV-VIS-NIR spectrophotometer (250~1200 nm) and hall measurement. The post-growth thermal treatment of these films is carried out in N2 ambient at 500 ℃ for 30 min and an hour. ZnO and GZO films have different changing behavior of structural and optical properties by annealing. To use transparent conductive films for solar cell, films should have not only high transmittance but also good electrical property. Although as deposited GZO films have electrical properties than ZnO films, GZO films have not good transmittance properties. Consequently, we succeed that the high transmittance of GZO films is improved by annealing process.
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E. Fortunato / 2004 / High quality conductive gallium-doped zinc oxide films deposited at room temperature / Thin Solid Films 451 : 443 ~
H. J. Ko / 2000 / Ga-doped ZnO films grown on GaN templates by plasma-assisted molecular-beam epitaxy / Appl. Phys. Lett 77 : 3761 ~
J. D. Ye / 2005 / Gallium doping dependence of single-crystal n-type Zno grown by metal organic chemical vapor deposition / J. Crystal Growth 283 : 279 ~
J. H. Kim / 2006 / Effect of rapid thermal annealing on electrical and optical properties of Ga doped ZnO thin films prepared at room temperature / J. Appl. Phys 100 : 113515
J. H. Lee / 2004 / Effects of the annealing treatment on electrical and optical properties of ZnO transparent conduction films by ultrasonic spraying pyrolysis / Thin Solid F
H. J. Ko / 2000 / Ga-doped ZnO films grown on GaN templates by plasma-assisted molecular-beam epitaxy / Appl. Phys. Lett 77 : 3761 ~
J. D. Ye / 2005 / Gallium doping dependence of single-crystal n-type Zno grown by metal organic chemical vapor deposition / J. Crystal Growth 283 : 279 ~
J. H. Kim / 2006 / Effect of rapid thermal annealing on electrical and optical properties of Ga doped ZnO thin films prepared at room temperature / J. Appl. Phys 100 : 113515
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