지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2004.1
- 수록면
- 738 - 746 (9page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Recently zinc oxide(ZnO) has emerged as one of the most promising transparent conducting films with a strong demand of low cost and high performance optoelectronic devices. ZnO film has many advantages such as high chemical and mechanical stabilities, and abundance in nature. In this paper, in order to obtain the excellent transparent conducting film with low resistivity and high optical transmittance for Plasma Display Pannel(PDP), aluminium doped zinc oxide films were deposited on Corning glass substrate by dc magnetron sputtering method. The effects of the discharge power and doping amounts of Al2O3 on the electrical and optical properties were investigated experimentally. Particularly in order to lower the electrical resistivity, positive and negative bias voltages were applied on the substrate, and the effect of bias voltage on the electrical properties of ZnO:Al thin film were also studied and discussed. Films with lowest resistivity of 4.3×10-4 Ω-㎝ and good transmittance of 91.46 % have been achieved for the films deposited at 1 mtorr, 400 ℃, 40 W, Al content of 2 wt% with a substrate bias of +30 V for about 800 nm in film thickness.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (16)
참고문헌 신청
/ 1980. / Glow Discharge Process- sputtering and Plasma Etching : 177 ~
/ 1981. / Fabrication and characterizations of Indium Tin Oxide thin films for Electroluminescent applications 80 (1) : 143 ~
/ 1996. / Al2O3 가 미량 첨가된 비 선형성 ZnO 바리스터의 미세구조와 전도기구 9 (7) : 711 ~
/ 1996. / Al2O3가 첨가된 ZnO의 전기적 특성 9 (6) : 573 ~
/ 1996. / Rf magnetron sputtering 법으로 ZnO박막 제조시 기판온도에 따른 c축 배향성에 관한 연구 9 (2) : 199 ~
/ 1981. / Fabrication and characterizations of Indium Tin Oxide thin films for Electroluminescent applications 80 (1) : 143 ~
/ 1996. / Al2O3 가 미량 첨가된 비 선형성 ZnO 바리스터의 미세구조와 전도기구 9 (7) : 711 ~
/ 1996. / Al2O3가 첨가된 ZnO의 전기적 특성 9 (6) : 573 ~
/ 1996. / Rf magnetron sputtering 법으로 ZnO박막 제조시 기판온도에 따른 c축 배향성에 관한 연구 9 (2) : 199 ~
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
유기물 기판 위에 증착된 ZnO:Al 투명전도막의 전기적 특성에 미치는 기판 바이어스 전압의 효과
조명·전기설비학회논문지
2009 .01
-
ZnO 투명 전도막의 전기적 특성에 미치는 AlO 의 도핑 농도 및 방전전력의 효과
한국재료학회지
2004 .01
-
태양전지 응용을 위한 PC 기판상의 ZnO:Al 박막 특성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2005 .01
-
Polyimide 기판을 이용한 ZnO:Al 박막 특성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2007 .01
-
A Study on Properties of Al:ZnO Thin Films by Used RTP Method
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2013 .01
-
플라스틱 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성에 미치는 스퍼터 압력 효과
전기전자재료학회논문지
2009 .01
-
가스압 변화에 따라 flexible 기판상에 제작한 Al이 첨가된 ZnO 박막의 특성
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2006 .01
-
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성
전기전자재료학회논문지
2007 .01
-
Cosputtering법으로 증착한 ZnO박막의 Al도핑농도가 미세구조 및 물리적 특성에 끼치는 효과
한국재료학회지
2005 .01
-
ZnO:Al 박막의 전기적, 광학적 특성에 미치는 바이어스 전압효과
전기전자재료학회논문지
2005 .01
-
Influence of Heat Treatment on the Structural, Electrical and Optical Properties of Aluminum-Doped Zinc Oxide Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
Current Photovoltaic Research
2013 .12
-
Al-doped ZnO 투명 전도성 박막(TCO)의 전기적 광학적 특성
반도체및디스플레이장비학회지
2007 .01
-
수소 및 산소 첨가에 따른 산화아연막의 전기적, 광학적, 구조적 물성
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .07
-
ZnO:Al 투명도전막의 열처리에 따른 전기적 및 광학적 특성
전기전자학회논문지
2020 .06
-
Effect of Substrate Temperature on Electrical and Optical Properties of Al Doped ZnO Thin Films by Continuous Composition Spread
센서학회지
2012 .01
-
RF-Sputtering 법을 이용한 ZnO:Al 박막의 후 열처리에 따른 특성 변화
전기전자재료학회논문지
2008 .01
-
막 두께에 따른 ZnO:Al 투명 전도막의 전기적, 광학적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .11
-
Electrical Properties of ZnO:Al Transparent Conducting Thin Films for Film - Typed Dye Sensitized Solar Cell
조명·전기설비학회논문지
2008 .11
-
DC 마그네트론 스터링법을 이용하여 증착한 Ga, Al, In 첨가 ZnO 박막의 특성
한국표면공학회지
2008 .08
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0