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논문 기본 정보

자료유형
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저자정보
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제26권 제2호
발행연도
2016.1
수록면
84 - 88 (5page)

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PVT(Physical vapor transport)법을 이용하여 AlN 단결정을 성장시켰으며 유도 코일의 위치를 변화시켜가면서 핫존의 위치가 달라짐에 따라 변화하는 결과를 비교하였다. 그라파이트 도가니가 사용되었으며 그 규격은 Φ90xH120이었다. 온도는 1950~2050oC이며 챔버 압력은 150에서 1 Torr까지 사용되었다. 또한 핫존은 실험 회차에 따라 변화를 주었으며 이결과가 비교되었다. 핫존의 위치가 AlN 단결정 응축 위치에서부터 충분히 아래쪽(> 40 mm)인 경우 성장된 결정 사이즈는다른 조건들에 비해 양호했지만(~300 μm/hr), 조건 재현성은 상당히 떨어졌다. 반대로 핫존과 AlN 성장 위치간의 거리가가까워질수록 성장된 결정의 크기는 작아지고 결정의 핵이 생성되는 빈도는 낮아지면서 성장된 결정의 질의 안정성은 증가했다. 성장 속도와 품질 두 가지 면에서 초기 핫존 코일의 위치가 결정 성장 위치로부터 20 mm 정도일 때가 가장 우수했다. 핫존의 위치는 매우 민감한 결과를 주었고 이것에서 더 나아가 코일의 이동 속도 또한 최적으로 컨트롤 되어야만 최적의 성장 조건이 설정될 수 있다.
#AlN #Single crystal #Hot zone #PVT #Physical vapor transport method #Crystal size

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참고문헌 (7)

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R. Schlesser / 2002 / Seeded frowth of AlN bulk single crystals by sublimation / J. Cryst. Growth 241:416 google schola 강승민 / 2008 / Growth of AlN crystals by the sublimation process / 한국결정성장학회지 18(2):68~71 dbpia 강승민 / 2009 / 승화법으로 성장된 AlN 결정의 성장 양상에 관한 연구 / 한국결정성장학회지 19(5):242~245 dbpia Z. G. Herro / 2010 / Growth of AlN single crystalline boules / J. Cryst. Growth 312:2515 google schola V. Noveski / 2004 / Mass transfer in AlN crystal growth at high temperature / J. Cryst. Growth 264:369 google schola

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