AlN 단결정 성장에 관한 도가니 형태의 의존성에 관한 연구

인경필; 강승민

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자료유형: 학술저널

저자정보: 인경필 강승민

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제25권 제1호

발행연도: 2015.1

수록면: 1 - 5 (5page)

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AlN 단결정의 특별한 용도로 이를 개발하기 위한 노력이 전 세계적으로 매우 활발하게 이루어지고 있다. 이러한 AlN을 기반으로 하는 자외선 LED는 생활, 의학, 자동자 등에 유용한 용도로서 살균, 정화, 경화 및 분석 등 분야에 이용된다. 이에 실험을 통해 PVT법으로 카본 도가니를 사용하여 AlN 단결정을 성장시켰으며 실험 중 3가지 형태의 도가니를 이용하여 성장에 미치는 영향을 분석하였으며, 그 온도 조건은 1900~2100oC이고 실험 압력으로는 1~200 Torr였다. 그결과, 높이가 높은 형태의 도가니를 사용할 경우 증발량은 기준 형태보다 증가 하는데 그쳤다. 반면, 넓은 형태의 도가니는더욱 많은 증발양의 증가를 보였으며, 기준 형태에 비하여 훨씬 안정하다는 것을 알았다. 또한, 제한된 크기의 도가니를 이용한 PVT법에서의 도가니 형태의 변화에 따른 결과는 성장률에 따른 최적 조건, 성장 결정의 품질변화 및 성장 조건 안정성에 영향을 주는 것을 알았다.

#AlN #Single crystals #PVT #Physical Vapor Transport) #Crucible

참고문헌 (7)

참고문헌 신청

B. Gao / 2012 / The impact of pressure and temperature on growth rate and layer uniformity in the sublimation growth of AlN crystals / J. Cryst. Growth 338 : 69 ~

C. Guguschev / 2012 / Growth of bulk AlN single crystals with low oxygen content taking into account thermal and kinetic effects of oxygen-related gaseous species / J. Cryst.

E.N. Mokhov / 2005 / Sublimation growth of AlN bulk crystals in Ta crucibles / J. Cryst. Growth 281 : 93 ~

J. Leathersich / 2013 / Homoepitaxial growth of non-polar AlN crystals using molecular dynamics simulations / J. Surface Science 617 : 36 ~

강승민 / 2008 / Growth of AlN crystals by the sublimation process / 한국결정성장학회지 18 (2) : 68 ~ 71

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인경필

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주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

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강승민

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