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저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제19권 제5호
발행연도
2009.1
수록면
242 - 245 (4page)

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종자결정을 사용하지 않고 AlN 결정을 승화법으로 성장하였으며, 결정이 성장되는 양상을 고찰하였다. AlN 결 정으로 성장된 상은 다결정 상이었으며, 약 60~160 μm의 크기를 가졌으며, 0.2~0.5 μm/hr의 성장 속도로 성장되었다. 성장 된 결정구조는 AlN 결정의 결정 구조가 반영된 육방정계의 결정상으로 성장되었음을 관찰하였으며, 주상 구조(columnar structure)로 성장된 후 횡적 성장(lateral growth)하는 양상을 보이면서 대형화됨을 알 수 있었다. 성장된 결정의 표면에서는 다량의 pinhole이 관찰되었으며, 광학현미경과 SEM을 이용하여 성장 morphology의 변화과정을 고찰하였다
#AlN crystals #Growth morphology #Columnar crystal growth #Nucleation layer #Sublimation

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참고문헌 (11)

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A.J. Moulson / 1991 / Electroceramics-material, properties, application : 223 ~ google schola B.M. Epelbaum / 2004 / Characterization of bulk AlN with low oxygen content / J. of Crystal Growth 265 : 577 ~ google schola G.A. Slack / 1976 / Growth of high purity AlN crystals / J. of Crystal Growth 34 : 263 ~ google schola G.A. Slack / 1977 / AlN single crystals / J. of Crystal Growth 42 : 560 ~ google schola L.M. Levinson / 1988 / Electronic ceramics properties, Devices and Applications / Marcel Dekker Inc. : 45 ~ google schola

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