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논문 기본 정보

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한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제16권 제4호
발행연도
2006.1
수록면
141 - 148 (8page)

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스컬용융법은 생산원가가 낮고 crust의 재사용으로 수율이 좋아 양질의 산화물단결정성장 및 대량생산에 좋은 방법이다. 본 연구에서는 루틸단결정을 스컬용융법에 의해 성장시켰으며, 서로 다른 성장조건에서의 ingot특성을 비교하였다. 좋은 품질의 루틸 ingot 성장을 위한 조건은 직경 12, 높이 14 cm 도가니 사용, 3000 pF의 tank condenser 용량, 2.84 MHz의 주파수, 9시간의 융액유지시간, 2 mm/h의 성장속도였다.1. 서 론

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