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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제16권 제5호
발행연도
2006.1
수록면
181 - 188 (8page)

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스컬용융법에 의해 성장시킨 rutile단결정을 성장 축과 수평 또는 수직으로 절단한 후 ?.5 mm?.0 mm 크기의 웨이퍼로 양면연마 하였다. 연마한 흑색 웨이퍼들은 1200oC에서 3~15시간, 1300oC에서 10~50시간 annealing을 행함에 의해 옅은 황색으로 변화되었다. Annealing 후 구조적 및 광학적 특성은 비중, SEM-EBSP, XRD, FT-IR, laser Raman, PL 그리고 XPS 등으로 분석하였고, 이들 결과들은 공기중의 무게 증가, 수중의 무게 및 비중의 감소, 침상의 2차상, 산소이온 확산 및 Ti3+ 이온이 감소되는 것으로 분석되었다. 이는 스컬용융법에 의해 성장된 rutile 단결정에 Ov,-Ti3+, Ov-Ti3+ interstitial 그리고 F+-H+와 같은 결함의 존재를 의미한다.

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