종자결정을 활용한 다결정 규소 잉곳 내의 구조적 결함 규명

이아영; 김영관

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이아영 김영관

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제24권 제5호

발행연도: 2014.1

수록면: 190 - 195 (6page)

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2015

종자결정의 형태와 성장조건이 규소 잉곳의 결함 생성에 미치는 영향

이아영 신소재공학 2015.01 학위논문

2014

종자결정을 활용한 다결정 규소 잉곳 내의 구조적 결함 규명

이아영 , 김영관 한국결정성장학회지 2014.01 학술저널

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방향성 응고법으로 잉곳을 성장시킬 때 발생하는 온도 구배에 의해 잉곳 내에 결함이 생성되고 잔류 응력이 남게 된다. 이 결함과 잔류 응력은 잉곳의 성장 조건에 따라 달라지며, 웨이퍼의 특성에 큰 영향을 미칠 수 있다. 성장 속도의 변화에 상관 없이 대부분의 잉곳에서는 하부 영역에 비해 상부 영역에서 결정립과 쌍정경계의 크기가 작았으며, 결정립계뿐만 아니라 결정립 내에도 전위 밀도가 높았다. 이것은 상부 영역에서 성장 중에 받는 열 응력이 하부 영역보다 크다는것을 암시한다. 두 잉곳 간의 차이를 보았을 때에는 성장 속도가 느린 잉곳에서 전위 밀도가 감소하였으며, 웨이퍼의 평탄도, 뒤틀림, 휨, 절단자국이 낮게 측정되었다. 따라서 다결정 성장 공정에서는 냉각 속도가 결함이나 잔류 응력의 발생에미치는 영향이 크며, 그로 인하여 웨이퍼의 특성이 달라지는 것을 알 수 있었다.

#Dislocation #Grain boundary #Twin #Multicrystalline silicon

참고문헌 (13)

참고문헌 신청

B. Gao / 2010 / Crystalgrowth of high-purity multicrystalline silicon using aunidirectional solidification furnace for solar cells / Journal of Crystal Growth 312 : 1572 ~

D. Kohler / 2014 / On the originand formation of large defect clusters in multicrystallinesilicon solar cells / Solar Energy Materials & SolarCells 120 : 275 ~

G. Stokkan / 2010 / Relationship between dislocation densityand nucleation of multicrystalline silicon / Acta Materialia 58 : 3223 ~

H.J. Moller / 2005 / Multicrystallinesilicon for solar cells / Thin Solid Films 487 : 179 ~

H.J. Su / 2012 / Preparation,microstructure and dislocation of solar-grade multicrystallinesilicon by directional solidification from metallurgical-grade silicon / Trans. Non

이 논문의 저자 정보

이아영

소속기관 한국결정성장학회

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 3 이용수 6

김영관

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