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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제11권 제3호
발행연도
2010.3
수록면
795 - 801 (7page)

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LCD (Liquid Crystal Display) 제조기술이 발전함에 따라 유리기판은 점차 대형화되는 추세이고 제조공정도 세밀화되어 감에 따라 LCD 제조과정에서 세정공정의 중요성이 부각되고 있다. 본 연구에서는 물리적 세정방법 중 브 러쉬 (brush), 버블제트 (bubble jet) 및 이류체 (aqua/air) 세정법을 이용하여 미립자 (particles) 제거효율을 비교 평가하 였다. 7세대 LCD 유리기판 (1875 mm × 2200 mm)을 대상으로 초순수 (deionized water)의 유량 및 압력 변화와 브 러쉬의 모(毛)와 유리기판과의 접촉깊이 (contact depth) 등의 운전조건 변화를 통하여 미립자의 제거효율을 비교하였 고 각 세정법에 의한 유의차 분석을 통해 향후 세정장비 개발에 유용한 자료로 활용하고자 하였다. 브러쉬 세정의 경 우 브러쉬 접촉깊이에 변화를 주었을 때 임계점부터는 세정효율에 유의차가 크지 않음을 알 수 있었다. 버블제트 세 정은 압력변화에 따른 세정력 유의차가 거의 없음을 관찰할 수 있었으며, 이류체 세정은 압력변화시 임계점까지는 세 정력 유의차가 존재하나 임계점 이후부터는 유의차가 발생하지 않았다. 상기 3가지 세정방법 중 브러쉬 세정이 주어 진 조건에서는 세정효과가 가장 큰 것으로 나타났다.
#Cleaning #Roll Brush #Bubble Jet #LCD #Aqua Air Jet

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1. [단행본] - 권오경 / 2006 / 디스플레이 공학 개론 / 청범출판사 : 12 ~ 29 google schola 2. [단행본] - Willem den Boer / 2005 / Active Matrix Liquid Crystal Displays / Elsevier, : 139 ~ 177 google schola 3. [단행본] - 이신두 / 2008 / 플렉시블 평판 디스플레이 / 청범출판사, : 1 ~ 10 google schola 4. [학술대회논문] - 홍민성 / 2004 / TFT LCD 세정 방법에 대한 프로세스 개선에 관한 연구 / 한국공작기계학회 2004 춘계학술대회 논문집, : 269 ~ 274 dbpia 5. [학술지(정기간행물)] - 김두형 / 2004 / 반도체·FPD 세정공정 및 기술동향 / 제어·자동화·시스템공학회지 10 (1) : 67 ~ 72 dbpia

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