Excimer Laser를 이용한 건식 세정에 있어 세정 효율의 정량적 평가

백지영 ,  송재동 ,  이명화 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

2007 .12

대체 세정장치의 경제성 분석

노경호

전자진흥

1993 .01

마이크로버블을 이용한 세정장치 개발 및 세정성능 강화

전종선 ,  추주영 ,  이상헌 외 3명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2012 .01

레이저 세정의 세정메카니즘 규명을 위한 실험적 연구

송재동 ,  백지영 ,  이명화 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

2007 .12

초음파세정기술

이춘삼

공기청정기술

1994 .01

초음파 세정 및 건조기술

이강원 ,  윤의중 ,  김철호 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

반도체 세정기술

최종복

공기청정기술

1994 .01

반도체 세정 공정평가를 위한 저비용 나노입자 오염장치 개발

손일룡 ,  김태곤 ,  유영삼 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

저압 플라즈마 세정가스에 따른 세정특성 연구

구희준 ,  고광진 ,  정찬교

청정기술

2001 .09

플라즈마 세정기술 현황

남기석 ,  김종국 ,  이상로

기계와 재료

2000 .01

식품공업에 있어서의 세정기술

허종화 ,  문준식

공기청정기술

1996 .01

극저온 $CO_2$를 이용한 세정장치 개발

윤철남

발명특허

2001 .01

증기발생기 세정로봇 분사장치 노즐 변경 및 배열에 따른 세정 효과

박병목 ,  채경선 ,  신경욱 외 6명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2016 .01

급속사여과지의 세정에 있어서 공기세정의 mechanism와 효과

정규영

수도

1995 .01

자외선 세정기술의 응용

문세호

조명·전기설비

2005 .10

세라믹필터 집진장치의 역세정 시스템 설계를 위한 유동해석

정재화 ,  서석빈 ,  김시문 외 2명

에너지공학

2003 .09

친환경 평판 디스플레이 세정을 위한 $CO_2$ Snow Jet 세정공정 개발에 관한 연구

정지현 ,  강봉균 ,  김민수 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

레이저 복합기의 재제조공정을 위한 전자부품 세정시스템의 개발

배재흠 ,  장윤상

청정기술

2012 .09

HF-last Cleaning에서 SC-1 step과 $UV/O_3$ step이 gate 산화막에 미치는 영향

최형복 ,  류근걸 ,  정상돈 외 1명

한국재료학회지

1996 .01

퍼지 논리에 의한 관능적 세정도 평가의 수치화

함경희 ,  이선우 ,  신현두

대한전자공학회 학술대회

1996 .01