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대한전자공학회 전자공학회논문지-SC 電子工學會論文誌 第45卷 SC編 第5號
발행연도
2008.9
수록면
44 - 51 (8page)

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UV 램프 시스템은 오랫동안 TFT LCD 나 PDP 의 패널 세정에 사용되어 왔으나, 저렴한 가격의 고성능 세정에 대한 필요성 때문에 고전압 플라즈마 세정에 대한 기술이 개발되고 그 성능이 향상되어 왔다. 장벽방전 (barrier discharge) 혹은 무성방전 (silent discharge) 으로 불리는 유전체 장벽 방전 (Dielectric-Barrier Discharges, DBDs) 는 오존 발생기에 주로 이용되어왔다. 본 논문에서는 LCD 세정용으로 6kW 급 고전압 플라즈마 발생장치를 구현하였다. 3상 입력전압을 직류로 정류한 뒤, 인버터 시스템에 의해 고주파 펄스로 바꾸고 고압 트랜스퍼머를 거쳐 다이오드로 정류한다. 마지막으로, 고압 플라즈마를 발생시키기 위해 양방향 고전압 펄스 스위칭회로가 사용되었다. 실험을 통해 상압 플라즈마가 LCD 패널 세정에 크게 유용함을 보였다.
#LCD Panel #Plasma #Cleaning #DBD #High-power transformer

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. DBD 의 무성방전 전력특성
Ⅲ. 상압 플라즈마 LCD 세정 장치의 구현
Ⅳ. 실험 및 검토
Ⅴ. 결론
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